佳能发售FPD曝光设备新品“MPAsp-H1003H”

佳能将于2022年7月下旬发售FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品“MPAsp-H1003H”。作为支持第8代玻璃基板尺寸的FPD曝光设备新产品，“MPAsp-H1003H”拥有1.5μm（L/S）的分辨率和±0.35μm的套合精度。

01、第8代玻璃基板上实现1.5μm高分辨率

本次发售的新产品沿用了针对第8代玻璃基板研发的FPD曝光设备“MPAsp-H1003T”（2018年10月推出）所搭载的投影光学系统，可实现对65英寸面板的一次曝光。此外，新产品还搭载了第6代玻璃基板的曝光设备“MPAsp-E813H”（2014年9月推出）所使用的超分辨技术，该技术经验证，可以实现1.5μm的高分辨率。在多种技术加持下，新产品既可以满足IT显示器用面板的高分辨率需求，又可以实现大型显示器所需的最大65英寸无拼接式面板的制造。

02、兼顾高生产性与高套合精度

通过对趋于成熟的高速载台技术的升级和改进，并不断提高了玻璃基板载台的性能，本次发售的FPD曝光设备“MPAsp-H1003H”与上一代产品“MPA sp-H1003T”相比，实现生产效率约20%的提升。此外，通过结合“MPAsp-E813H”中经实绩验证的定位方式和倍率校正机构，新产品可实现±0.35μm的套合精度，与上一代产品“MPAsp-H1003T”相比提高了约20%。

03、增强各类制造工序的工艺对应能力

新产品配备了包含超分辨率技术照明模式的切换构件和稳定曝光线宽的自动曝光狭缝调整（SIC）构件，强化了多样化制造工序的工艺对应能力，提供了更稳定的制造质量。

主要优点

1、在第8代玻璃基板上实现1.5μm的高分辨率

与第8代玻璃基板的前代曝光设备“MPA sp-H1003T”的2.0μm相比，通过采用第6代玻璃基板曝光设备“MPA sp-E813H”中久经考验的超分辨率技术，新产品更进一步实现了1.5μm的高分辨率的曝光。 新产品还沿用了第8代玻璃基板的曝光设备“MPA sp-H1003T”的广曝光视角，实现对65英寸面板的一次曝光。

2.兼顾高生产率和高套合精度、 与“MPA sp-H1003T”相比，通过改进高速载台技术，提高玻璃基板载台的性能，新产品的生产效率提高了约20%。新产品搭载了曝光设备“MPA sp-E813H”中经实绩验证的倍率校正机构。对于在制造工序中形成多层时产生的基板形变，通过高精度校正驱动来进行准确地套合曝光。采用在曝光设备“MPA sp-E813H”中经实绩验证的定位方式，新产品通过对每块面板进行多点同时测量，在不降低生产效率的情况下有效提高测量精度，实现±0.35μm的套合精度。

3、增强各类制造工序的工艺对应能力

新产品的照明模式可以根据需要曝光的图案进行切换，从而适配各类制造工序的曝光。通过光学元件的不同组合，可以从适合重复类图案的“Annular模式”、适合孤立类图案的“Conventional 2模式”和适合需要高照度的图案的“Conventional 3模式”中进行选择。在形成圆弧光的机构中，新产品配备有曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，可以改变曝光光线的强度分布，从而实现稳定的曝光线宽。